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スピンコーターの真空がつまった（試料の真空吸着が出来ない）場合の対処法は？ |
| A |
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原則預かり修理対応となりますが、お客様の手で復旧させる事も可能です。
又、真空シール材（オイルシール）の劣化による真空リークも考えられます。
オイルシールの交換方法のpdfファイルをご用意しておりますので、こちらから装置型式を明記の上、ご要求下さい。折り返し同ファイルをお送りします。 |
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| Q
2
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スピンコーターの使用上の一般的な注意点は？ |
| A |
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試料台と試料の大きさの関係に注意して下さい。試料台より小さい試料をその試料台にチャックさせますと吸着不良や試料台内、本体内へ、液が吸引される恐れがあります。必ず試料より小さい試料台でご使用下さい。試料台の交換は本体の電源をＯＦＦにして行って下さい。 |
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| Q
3
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連続運転時の熱対策は可能か？ |
| A |
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熱排気装置の取り付けが出来ます。対応機種はMS-A150，200，密閉型，MS-A100は本体へファン取付のみ可です。 |
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| Q
4
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レジスト液が装置内部に入らない対策は可能か？ |
| A |
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真空固定方式の為零にする事は不可能ですが試料台の形状等の工夫により効果を上げる事は可能です。 |
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| Q
5
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メカニカルチャック方式は可能か？ |
| A |
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基本形は真空固定式です。 |
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| Q
6
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スピンコーターで簡易的に現像できませんか？ |
| A |
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使用できません。成膜装置ですから現像の様な多量の液を流す作業の為の構造になっておりません。又、酸アルカリ等の流れに対する防御装置もありません。トラブルの原因となります。現像には使用しないで下さい。 |
>> スピンコーター
