| Q
1 |
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アライナーの使用上の一般的な注意点は？ |
| A |
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マスクサイズと露光範囲の間隔に注意して下さい。有効露光範囲はマスクサイズより約１インチ小さくなります。４インチマスク使用の場合、露光範囲は３インチ□又は３インチφとなります。露光範囲（露光窓）が角の場、マスクホルダーの露光窓の４コーナーにアール部分が出来ます。（５R位、より小さくする事は可能） |
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| Q
2 |
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マスクアライナーMA-10/MA-20/MA-60Fを使用していて、コントローラーが動かなくなりました |
| A |
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シーケンサーコントロール仕様のモデルでは、プログラム内容保持のためにバッテリーを内蔵しています。
このバッテリーの標準寿命は5年のため、ご購入後5年以上経過している装置に関しては、バッテリーの交換が必要となります。
又、当該モデルは、1997年7月以降製造のモデルのみです。（それ以前は非該当）。
交換用バッテリーの販売及び交換方法説明書をご用意しておりますので、こちらから装置銘板に記載されている装置型式（製造年月）を明記の上ご要求下さい。
担当者より折り返しご連絡を差し上げます。 |
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| Q
3
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水銀ランプの紫外線領域は何処から何処迄カバ−しているのか？ |
| A |
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405nmを中心に設計しております。
水銀灯の波長は365nm，405nm，436nmに強い波長スペクトル分布を持っております。 |
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| Q
4
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特に照射強度の高い波長領域は何線か？ |
| A |
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405nm |
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| Q
5
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照射強度は何ミリワット以上か？ |
| A |
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10〜20mWでランプハウスの大きさ、種類、芯出し方法により異なります。 |
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| Q
6
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照射照度の均一度はどのくらいか？ |
| A |
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5％〜15％ ランプハウスにより異なります。 |
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| Q
7
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水銀ランプの寿命はどのくらいか？ 又どのくらい減光したら交換を要するか？ |
| A |
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新品時に比べ、強度が20％程度低下した状態になったら交換の目安として下さい。
USH-250D 約1000時間（連続点灯）MA-10，MA-60F，M-2LF，M-1S
USH-500D 約800時間（連続点灯） MA-20,M-2L,M-3LDF
USH-1005D 約600時間（連続点灯） M-3LD用 |
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| Q
8
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インテグレ−タ−光源と平行光束光源の違いは？ |
| A |
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インテグレ−タ光源は試料面上での照度分布が非常によくなる。
光の使用効率が改善される事により同じ規格の水銀灯を使用した場合には単位面積当たりの強度を大きく取る事が出来ます。 |
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| Q
9
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露光アライメント精度、又は焼き付け精度は？ |
| A |
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アライメント精度は顕微鏡の分解能よりもう1段細かい精度を得る事が出来ます。
10×対物レンズの場合2μ、20×対物レンズの場合の分解能は1．2μです。
焼き付け精度は実際に試料面上に焼き付けたパタ−ン幅とマスク硝子のパタ−ンとの比較精度になりますのでレジストの膜厚等の前段階処理を含めた形の総合評価となります。 |
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| Q
10
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マスクアライナ−の使用可能なマスク寸法は、試料寸法は？ |
| A |
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ＭＡ−１０ ＭＡ−２０型 マスク５インチ□、試料４インチφ
ＭＡ−６０F Ｍ−２ＬＦ マスク７インチ□、試料６インチφ
Ｍ−３ＬＤＦ マスク１３インチ□、試料１２インチφ
Ｍ−１Ｓ マスク４インチ□、試料３インチφ |
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| Q
11 |
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コンタクト露光とプロキシミティ−露光の違いは？ |
| A |
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プロキシミティ露光はマスク硝子と試料面が数μ〜数十μで接近しておりますが、接触しない状態で露光を行う方式です。
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| Q
12 |
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プロキシミティ−露光は可能か？ |
| A |
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現在MA-20型、MA-60F型の装置にはＺ軸の移動量を１μ単位でが測定出来る機構を有しております。
センサ−による正確なギャップ設定は出来ませんが簡易的な実験は行う事は可能です。
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| Q
13 |
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焼き付けエネルギ−量は常時一定か？ |
| A |
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水銀灯も劣化し照度が低下しますので常時一定に保つ事は不可能です。
MA-20、MA-60F型の様に積算光量計を搭載した装置の場合一定光量エネルギ−の制御は可能となります。 |
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| Q
14 |
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マスクホルダー、試料台は兼用出来るか？ |
| A |
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マスクホルダーは兼用出来ません。但し多少の厚さの違うマスクなら可能の場合もあります。試料台は固定の為の吸着部分を小さいサイズの試料に合わせておけばある程度兼用できますが、あまりサイズの違いが大きい場合は専用の試料台が必要です。 |
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| Q
15 |
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その他 |
| A |
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- マスクサイズと試料サイズが大きく違う場合コンタクトに気を付けて下さい。
あまり強くコンタクトしますとマスクを破損する恐れがあります。
- 露光作業の前に露光光源の照度をチェックして下さい。
照度は点灯時間により低下します。専用紫外線照度計によるチェックをお勧めします。（ウシオ製 UIT-101型）
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>> マスクアライナー
