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スピンコーター
スピンコーターMS-B100
最大基板サイズ
φ4インチウエハーまたは75×75㎜基板
ｾｰﾌﾃｨｰ
ｲﾝﾀｰﾛｯｸ
真空
標準装備
回転数(rpm)
20～8,000
蓋
オプション
回転精度
±1rpm(負荷時)
滴下装置
取付不可
モーター
ACサーボモーター
蓋
アクリル
使用真空圧
-0.08～-0.1MPa
スピン室内径
φ220㎜
電源
AC100～240V 5A
ステップ・パターン数
100ステップ×10パターン
外形寸法(㎜)
259W×246H×341D
時間設定
999.9sec
重量
約10㎏
※仕様は予告なく変更する事がございます。
詳細な資料などは技術特設サイト【スピンコーター塗布機.com】をご覧ください。
● スピンコーター塗布機.comの閲覧は
こちら
。
● MS-B100技術特設サイトページについては
こちら
。
● MS-B100用標準試料台については
こちら
。
● 膜厚分布データについては
こちら
。
● 成膜動画については
こちら
。
● スピンコーターFAQは
こちら
。
● 従来機(1H-D7/MS-A100)の取扱説明書ダウンロードは
こちら
。
● 従来機1H-D7のオイルシール交換手順書ダウンロードは
こちら
。
スピンコーターMS-B150
最大基板サイズ
φ6インチウエハーまたは100×100㎜基板
ｾｰﾌﾃｨｰ
ｲﾝﾀｰﾛｯｸ
真空
標準装備
回転数(rpm)
20～7,000
蓋
オプション
回転精度
±1rpm(負荷時)
滴下装置
オプション
モーター
ACサーボモーター
蓋
アクリル
使用真空圧
-0.08～-0.1MPa
スピン室内径
φ290㎜
電源
AC100～240V 5A
ステップ・パターン数
100ステップ×10パターン
外形寸法(㎜)
353W×303H×444D
時間設定
999.9sec
重量
約19㎏
※仕様は予告なく変更する事がございます。
詳細な資料などは技術特設サイト【スピンコーター塗布機.com】をご覧ください。
● スピンコーター塗布機.comの閲覧は
こちら
。
● MS-B150技術特設サイトページについては
こちら
。
● MS-B150用標準試料台については
こちら
。
● 膜厚分布データについては
こちら
。
● レジスト滴下装置の成膜動画については
こちら
。
● スピンコーターFAQは
こちら
。
● 従来機(1H-DＸ2/MS-A150)の取扱説明書ダウンロードは
こちら
。
● 従来機1H-DＸ２のオイルシール交換手順書ダウンロードは
こちら
。
スピンコーターMS-B200
最大基板サイズ
φ8インチウエハーまたは150×150㎜基板
ｾｰﾌﾃｨｰ
ｲﾝﾀｰﾛｯｸ
真空
標準装備
回転数(rpm)
20～5,000
蓋
標準装備
回転精度
±1rpm(負荷時)
滴下装置
オプション
モーター
ACサーボモーター
蓋
ポリカーボネート
使用真空圧
-0.08～-0.1MPa
スピン室内径
φ360㎜
電源
AC100～240V 5A
ステップ・パターン数
100ステップ×10パターン
外形寸法(㎜)
500W×340H×591D
時間設定
999.9sec
重量
28㎏
※仕様は予告なく変更する事がございます。
詳細な資料などは技術特設サイト【スピンコーター塗布機.com】をご覧ください。
● スピンコーター塗布機.comの閲覧は
こちら
。
● MS-B200技術特設サイトページについては
こちら
。
● MS-B200用標準試料台については
こちら
。
● 膜厚分布データについては
こちら
。
● レジスト滴下装置の成膜動画については
こちら
。
● スピンコーターFAQは
こちら
。
● 従来機(1H-360Ｓ/MS-A200)の取扱説明書ダウンロードは
こちら
。
● 従来機1H-360Ｓのオイルシール交換手順書ダウンロードは
こちら
。
スピンコーターMS-B300
最大基板サイズ
φ12インチウエハーまたは200×200㎜基板
ｾｰﾌﾃｨｰ
ｲﾝﾀｰﾛｯｸ
真空
標準装備
回転数(rpm)
20～5,000
蓋
標準装備
回転精度
±1rpm(負荷時)
滴下装置
オプション
(2アームまで取付可)
モーター
ACサーボモーター
蓋
ポリカーボネート
使用真空圧
-0.08～-0.1MPa
スピン室内径
φ500㎜
電源
AC200～240V 単層 5A
ステップ・パターン数
100ステップ×10パターン
外形寸法(㎜)
545W×432H×654D
時間設定
999.9sec
重量
55㎏
※仕様は予告なく変更する事がございます。
詳細な資料などは技術特設サイト【スピンコーター塗布機.com】をご覧ください。
● スピンコーター塗布機.comの閲覧は
こちら
。
● MS-B300技術特設サイトページについては
こちら
。
● 膜厚分布データについては
こちら
。
● 滴下・エッジ・バックリンス装置の動画については
こちら
。
● スピンコーターFAQは
こちら
。
スピンコーターMS-B200密閉型
最大基板サイズ
100×100㎜基板
滴下装置
取付不可
回転数(rpm)
20～3,000
回転精度
±1rpm(負荷時)
使用真空圧
-0.08～-0.1MPa
モーター
ACサーボモーター
ユーティリティ
エアー:0.3MPa
(上部シリンダー用)
密閉用蓋
アルミ／デルリン
スピン室内径
φ360㎜
電源
AC100～240V 単層 5A
ステップ・パターン数
100ステップ×10パターン
外形寸法(㎜)
540W×460H×630D
時間設定
999.9sec
重量
44㎏
ｾｰﾌﾃｨｰ
ｲﾝﾀｰﾛｯｸ
真空
標準装備
蓋
標準装備
※仕様は予告なく変更する事がございます。
詳細な資料などは技術特設サイト【スピンコーター塗布機.com】をご覧ください。
● スピンコーター塗布機.comの閲覧は
こちら
。
● MS-B200密閉型技術特設サイトページについては
こちら
。
● 膜厚分布データについては
こちら
。
● スピンコーターFAQは
こちら
。
● 従来機(1H-360Ｓ/MS-A200)の取扱説明書ダウンロードは
こちら
。
● 従来機1H-360Ｓのオイルシール交換手順書ダウンロードは
こちら
。
スピンコーターMS-B300密閉型
最大基板サイズ
150×150㎜基板
滴下装置
オプション
(1アームまで取付可)
回転数(rpm)
20～3,000
回転精度
±1rpm(負荷時)
使用真空圧
-0.08～-0.1MPa
モーター
ACサーボモーター
ユーティリティ
エアー:0.3MPa
(上部シリンダー用)
密閉用蓋
アルミ／デルリン
スピン室内径
φ500㎜
電源
AC200～240V 単層 5A
ステップ・パターン数
100ステップ×10パターン
外形寸法(㎜)
570W×590H×650D
時間設定
999.9sec
重量
65㎏
ｾｰﾌﾃｨｰ
ｲﾝﾀｰﾛｯｸ
真空
標準装備
蓋
標準装備
※仕様は予告なく変更する事がございます。
詳細な資料などは技術特設サイト【スピンコーター塗布機.com】をご覧ください。
● スピンコーター塗布機.comの閲覧は
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。
● MS-B300密閉型技術特設サイトページについては
こちら
。
● 膜厚分布データについては
こちら
。
● スピンコーターFAQは
こちら
。
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