MIKASA
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Opticoat
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スピンコーター
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MS-B200密閉型
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マスクアライナー
  MA-20
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現像・エッチング装置
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M-synergy
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contents
マスクアライナー
Opticoat

■ マニュアルタイプのコンタクトマスクアライナーです。
■ 不定形サイズの基板、シリコン・ガラス・化合物・フイルムなど様々な材質に対応可能です。
■ ご予算や用途に応じて、コリメータータイプ、マルチミラータイプ、インテグレータータイプの3種類の露光
光源を用意しております。
■ 5×5o〜100×100o及びφ6インチまでの基板に対応した機種を取り揃えております。
■ マスクホルダー・試料台の交換は簡単作業のため、研究開発用途に最適です。
■ アライメントスコープの対物レンズは高アライメントや膜厚などの用途に応じて4×、10×、20×の3種
類を用意しております。

M-1S

最大基板サイズ

φ3インチ アライメント精度 対物レンズ1×使用時
3.7μm

最大基板厚

2o

最大マスクサイズ

4×4インチ アライメント
ギャップ測長機能
取付不可

UVランプハウス

コリメータータイプ

照度

>8mW/cu(at405nm) マニプレーター
移動範囲
X・Y±5o 微動1/8o1回転
θ:70°微動±7°
Z:3o 微動0.16o
照度均一性 <±8.5%
露光光源 UVランプ250W
十字動ステージ
移動範囲
取付不可
露光波長 ブロードバンド(g・h・i線)
露光用タイマー 0〜999.9秒
タイマーセット式
空圧
窒素 ハードコンタクト取付時
0.5MPa
UVランプ
劣化補正機能
取付不可 真空 マスク及び基板吸着用
-0.08MPa

コンタクト方法

ソフトコンタクト
(ハードコンタクト
        /オプション)
除振台 オプション
電源 AC100〜110V 50/60Hz 20A

アライメントスコープ

双眼実体顕微鏡
(ズーム式)
外形寸法(o) 800W×730H×500D
重量 100s
※仕様は予告なく変更する事がございます。
 
MA-20

最大基板サイズ

φ4インチ アライメント精度 対物レンズ20×使用時
1.2μm

最大基板厚

2o

最大マスクサイズ

5×5インチ アライメント
ギャップ測長機能
標準装備

UVランプハウス

マルチミラータイプ

照度

>14mW/cu(at405nm) マニプレーター
移動範囲
X・Y±5o 微動1/8o1回転
θ:70°微動±7°
Z:4o(空圧駆動分1o/粗動
3o)
微動0.16o
照度均一性 <±4.0%
露光光源 UVランプ500W
十字動ステージ
移動範囲
X・Y±20o
露光波長 ブロードバンド(g・h・i線)
露光用タイマー 0〜999.9秒タイマーセット式
1〜9999カウント
積算光量カウンター式
切り換え方式
空圧 マスクステージ/
顕微鏡駆動用 0.5MPa
窒素 N2ブローアップ用 0.5MPa
UVランプ
劣化補正機能
標準装備 真空 マスク及び基板吸着用
-0.08MPa

コンタクト方法

ソフトコンタクト
/ハードコンタクト
除振台 標準装備
電源 AC100〜110V 50/60Hz 20A

アライメントスコープ

二視野顕微鏡
対物レンズ間隔18〜60o
外形寸法
(o/除振台含む)
1000W×1300H×800D
重量 290s
※仕様は予告なく変更する事がございます。
SEM 薄膜 SEM 厚膜
MA-20 SEM 薄膜 MA-20 SEM 厚膜
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露光装置

MA-20

線幅

1μm(L&S)

レジスト

OFPR-800LB(東京応化製)

膜厚

1μm

露光装置

MA-20

線幅

8μm(角ホール)

レジスト

e-PR THICK(e-chem japan製)

膜厚

6.3μm

MA-10B

≪特 徴≫
● マニプレーターステージが±50o可動しアライメント位置合わせが容易
● 可動部にセンサーを設ける事により誤動作を防止
● 軽量設計 ※当社MA-10比較
● マスク落下防止用引出板付 ※マスクガラス仕様に応じて作製
● 不定型サイズの基板にも対応 ※真空吸着試料台を基板に応じて作製
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最大基板サイズ

φ4インチ 操作部 タッチパネル式

最大基板厚

2o

最大マスクサイズ

5×5インチ インターロック機構 マスク・ウエハ吸着
Z軸下限位置
スコープスイングUP・DOWN位置
マニプレーター引出ステージ位置

UVランプハウス

コリメータータイプ

照度

>8mW/cu(at405nm) マニプレーター
移動範囲

X・Y±6.5o 微動0.025o1回転
θ:50°微動±5°
Z:10o 微動0.025o

照度均一性 <±8.5%
露光光源 UVランプ250W
十字動ステージ
移動範囲
X・Y±50o
露光波長 ブロードバンド(g・h・i線)
露光用タイマー 0〜999.9秒
タイマーセット式
電源 AC100V 50/60Hz 9A
ユーティリティ エアー:0.5MPa
スコープスイング/ステージロック用
N2:0.5MPa ハードコンタクト用
真空:-0.08MPa マスク/基板吸着用
UVランプ
劣化補正機能
取付不可

アライメントスコープ

二視野顕微鏡
対物レンズ間隔18〜60o

顕微鏡解像度

1.2μm
対物レンズ20×使用時
外形寸法(o) 750W×600H×650D
重量 約90s

アライメント
ギャップ測長機能

取付不可 オプション 専用除振台
真空ポンプ
三眼鏡筒モニター仕様
露光光源500W仕様

コンタクト方法

ソフトコンタクト
/ハードコンタクト
※仕様は予告なく変更する事がございます。
MA-60F

最大基板サイズ

φ6インチ アライメント精度 対物レンズ20×使用時
1.2μm

最大基板厚

2o

最大マスクサイズ

7×7インチ アライメント
ギャップ測長機能
標準装備

UVランプハウス

インテグレータタイプ

照度

>18mW/cu(at405nm) マニプレーター
移動範囲
X・Y±5o 微動1/8o1回転
θ:70°微動±7°
Z:4o(空圧駆動分1o/粗動
3o)
微動0.16o
照度均一性 <±5.0%
露光光源 UVランプ250W
十字動ステージ
移動範囲
X・Y±20o
露光波長 ブロードバンド(g・h・i線)
露光用タイマー 0〜999.9秒タイマーセット式
1〜9999カウント
積算光量カウンター式
切り換え方式
空圧 マスクステージ用 0.5MPa
窒素 N2ブローアップ用 0.5MPa
UVランプ
劣化補正機能
標準装備 真空 マスク及び基板吸着用
-0.08MPa

コンタクト方法

ソフトコンタクト
     /ハードコンタクト
除振台 標準装備
電源 AC100〜110V 50/60Hz 20A

アライメントスコープ

二視野顕微鏡
対物レンズ間隔18〜60o
外形寸法
(o/除振台含む)
1130W×1650H×800D
重量 360s
※仕様は予告なく変更する事がございます。
SEM 薄膜 SEM 厚膜
MA-60F SEM 薄膜 MA-60F SEM 厚膜
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露光装置

MA-60F

線幅

2μm(L&S)

レジスト

OFPR-800LB(東京応化製)

膜厚

1μm

露光装置

MA-60F

線幅

6μm(角ホール)

レジスト

e-PR THICK(e-chem japan製)

膜厚

6.2μm

M-2LF

最大基板サイズ

φ6インチ アライメント精度 対物レンズ20×使用時
1.2μm

最大基板厚

2o

最大マスクサイズ

7×7インチ アライメント
ギャップ測長機能
取付不可

UVランプハウス

インテグレータタイプ

照度

>18mW/cu(at405nm) マニプレーター
移動範囲
X・Y±5o 微動1/8o1回転
θ:70°微動±7°
Z:10o 微動0.16o
照度均一性 <±5.0%
露光光源 UVランプ250W
(オプション500W仕様可)
十字動ステージ
移動範囲
オプション
露光波長 ブロードバンド(g・h・i線)
露光用タイマー 0〜999.9秒
タイマーセット式
空圧
窒素 ハードコンタクト取付時
0.5MPa
UVランプ
劣化補正機能
取付不可 真空 マスク及び基板吸着用
-0.08MPa

コンタクト方法

ソフトコンタクト
(ハードコンタクト
        /オプション)
除振台 標準装備
電源 AC100〜110V 50/60Hz 20A

アライメントスコープ

二視野顕微鏡
対物レンズ間隔18〜60o
外形寸法
(o/除振台含む)
1000W×1680H×800D
重量 280s
※仕様は予告なく変更する事がございます。
 
     
 
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