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φ6インチウェハまで扱え、オプションとしてレジスト滴下装置の追加も可能な拡張性を持ち合わせたモデル
ベストセラーモデルMA-10の上位モデルで、上級光源を搭載し、一部動作部にオート機構を備え、少量生産用途にも対応可能
スプレータイプの現像・エッチング装置。スプレー処理により、ディップ処理等に比べ、処理品質の向上や処理の個体差を低減
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