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当社は半導体業界において、スピンコーター・マスクアライナー・光学顕微鏡・検査装置などを長年販売して参りました。その結果として、多くの実績と高い評価を頂いております。その経験も踏まえて膜厚測定装置をご案内致します。研究開発用途から生産管理分野用途まで、幅広い商品を取り揃えております。
膜厚測定は、膜表面と膜と基板との界面からの反射光の光路差によって発生する干渉光のデータより膜厚を算出する方式です。半導体製造に求められる、顕微鏡を用いた微小領域の測定から、カラーレジスト測定、100μm以上の膜厚測定とさまざまな要求に応えることが出来ます。コンパクトな本体とノートPCというシンプルなシステム構成は、コストについてのニーズをも満足させます。 |
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特徴
■薄膜測定スポットはミクロ領域測定まで対応
・測定スポットサイズは5μm〜100μm
対応モデル・・・F40（顕微鏡仕様）
■カラーレジスト測定
・分光波長範囲400〜1700nm
対応モデル・・・F20−EXR、F50−EXR
■膜厚30Å〜250μmまで測定範囲
対応モデル・・・F20−UV，F20，F20−EXR
■自動マッピング薄膜測定
対応モデル・・・F50 |
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