特徴
■個人誤差のない自動測定
計測領域、条件等の設定をあらかじめ設定すれば、寸法測定は自動的に行われ、従来あったカーソルを移動させて測定対象に合わせる等の操作も不要で、オペレーターによる誤差等も無く、再現性の高い測定が可能です。
■高精度な繰り返し再現性
サブピクセル画像処理の採用によりCCDカメラの解像度を超えた分解能で測定が可能。測定サンプルの画像コントラストの条件が良ければ、3δ値が10nm以下(対物レンズ100×時)の再現性も可能です。
■化合物ウエハ(GaAs等)、シリコンウエハ等の微細パターンの線幅測定に最適
半導体レーザーなど微細な線幅の寸法測定及び水晶発振子・グレーティング・センサー等のパターンを精度良く測定したい用途に最適です.拡張性の高いソフトウエア・・・本測定ソフトは、特に線幅の測定に最適なように開発されていますが、お客様のご要望に応じた特注のソフト開発も可能です。
■ご予算に応じて選択可能なシステム構成
研究開発段階から生産ライン品質検査工程まで、ご用途に応じたシステム構成があります。
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