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線幅測定装置MIM−L Multiple Image processing Measurement system
線幅測定装置MIM−Lは、特に数ミクロン線幅の測定にその真価を発揮できように開発された専用ソフトにより、CCDカメラより取り込んだ画像を処理して自動的に測定し、測定者の違いによる誤差をなくした、画像寸法測定システムです。
特徴

個人誤差のない自動測定
計測領域、条件等の設定をあらかじめ設定すれば、寸法測定は自動的に行われ、従来あったカーソルを移動させて測定対象に合わせる等の操作も不要で、オペレーターによる誤差等も無く、再現性の高い測定が可能です。

高精度な繰り返し再現性
サブピクセル画像処理の採用によりCCDカメラの解像度を超えた分解能で測定が可能。測定サンプルの画像コントラストの条件が良ければ、3δ値が10nm以下(対物レンズ100×時)の再現性も可能です。

化合物ウエハ(GaAs等)、シリコンウエハ等の微細パターンの線幅測定に最適
半導体レーザーなど微細な線幅の寸法測定及び水晶発振子・グレーティング・センサー等のパターンを精度良く測定したい用途に最適です.拡張性の高いソフトウエア・・・本測定ソフトは、特に線幅の測定に最適なように開発されていますが、お客様のご要望に応じた特注のソフト開発も可能です。

ご予算に応じて選択可能なシステム構成
研究開発段階から生産ライン品質検査工程まで、ご用途に応じたシステム構成があります。
計測設定画面・・・測定モード、ウィンドウ等を設定 ウエハマップ画面
計測設定画面 ウエハマップ画面
ステージ制御画面  
ステージ制御画面
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