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特徴
■高性能・低価格・コンパクト卓上タイプ
■基板サイズ φ1"〜φ6"
■耐薬品性を考慮し接液部にPVC（塩ビ）を使用
■エッチング、リンス、振切りを連続処理
■薬液圧送ポンプ内蔵により加圧タンクが不要
■液晶タッチパネルにてプログラム入力簡単操作
装置寸法：550W×400D×440H(mm) カバー開閉時740H
以上シリコン基板、化合物半導体基板、ガラス基板、セラミック基板等対応します。
又、オプションとして薬液温度管理システム等もございますので詳しくはお問合せ下さい。
その他大型基板用エッチング装置、及び自動装置につきましてもご相談下さい。
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