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特徴
■二視野顕微鏡採用による、スピーディで正確なアライメント
■試料はφ4インチ、マスクは5インチ角まで対応
■水銀灯250W光源（オプションで500W仕様も可）
装置寸法：760W×800D×640H(mm)
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特徴
■マルチミラ−ランプハウス採用による均一性の高い照度分布
■各種自動機構部により操作性が向上
■デジタルマイクロメ−タ−表示によるZ軸制御(ソフトコンタクト可)
■二視野顕微鏡採用による、スピーディ−で正確なアライメント
■試料はφ4インチ、マスクは5インチ角まで対応
■水銀灯500W光源
装置寸法：750W×800D×650H(mm)
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特徴
■インテグレ−タ−光源採用による、均一性の高い照度分布
■オートモードにより、簡単な操作で繰り返しアライメントが可能
■デジタルマイクロメ−タ−表示によるZ軸制御(ソフトコンタクト可)
■二視野顕微鏡採用による、スピーディ−で正確なアライメント
■試料はφ6インチ、マスクは7インチ角まで対応
■水銀灯250W光源
装置寸法：1,130W×900D×1,650H(mm)
※専用架台を含む
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特徴
■インテグレ−タ−光源採用による、均一性の高い照度分布
■優れたコストパフォーマンスと拡張性
■小型・軽量設計
■二視野顕微鏡採用による、スピーディ−で正確なアライメント
■試料はφ6インチ、マスクは7インチ角まで対応
■水銀灯250W光源
コリメータ式ランプハウスモデルは販売終了
装置寸法：1000W×750D×1030H(mm)
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特徴
■φ12インチまでの大型基板の露光に対応
■φ12インチ大型露光面積に対応する為に、照射強度・照度分布を強化したインタグレ−タ−ランプハウスを搭載
■アライメント観察部にはCCDカメラとTVモニタ−を採用
■試料はφ12インチまで対応
■水銀灯500W光源
装置寸法：1,200W×700D×1,960H(mm)
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特徴
■アライメント顕微鏡は実体顕微鏡を使用
■試料はφ3インチ、マスクは4インチ角まで対応
■水銀灯250W光源
装置寸法：800W×500D×730H(mm)
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