特徴
■高性能・低価格・コンパクト卓上タイプ
■現像方式：パドル現像（パイプ吐出）専用
■基板サイズ φ1"〜φ6"
■液晶タッチパネルにてプログラム入力簡単操作
■薬液・リンス液加圧圧送用キャニスター缶付属
装置寸法：300W×390D×280H(mm) カバー開閉時600H
以上シリコン基板、化合物半導体基板、ガラス基板、セラミック基板等対応します。
又、オプションとして薬液温度管理システム等もございますので詳しくはお問合せ下さい。
その他大型基板用現像装置、及び自動装置につきましてもご相談下さい。
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