對準曝光機 - MaskAligner

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對準曝光機 - MaskAligner -

■ 特點

■ 手動操作、接觸式對準曝光機。
■ 依照不同需求以及成本考量・有準直儀型・多面鏡型・整合(積算器)型三種曝光光源。
■ 有可對應5×5mm～100×100mm以及1 inch～6 inch的基板的各類機種。
■ Mask Holder・載台的更換作業簡單易行，可在１分鐘内完成，適合用於研究開發。
■ 對準顯微鏡的對物鏡可對應高對準精度或厚膜等用途，並且有4×、10×、20×三種。

■ 共通規格

接觸方法	軟性接觸/ 硬性接觸　(部分選配)
對準精度	使用對物鏡20×時＜1.2μm(M-1S除外)
對準顯微鏡	雙視野顯微鏡對物鏡間隔18~60mm (M-1S除外)
曝光波長	多頻率(h．i．g線)

■ 特點
　　■ 機械手平台移動±50 mm，便於對齊
　　■ 通過在可移動部件上設置傳感器來防止故障
　　■ 輕量化設計※我們的MA-10比較
　　■ 防止面罩掉落的取出板※根據面罩玻璃規格製造
　　■ 還支持不規則尺寸的基材*根據基材生產真空吸附樣品架

規格

基板尺寸	MAX4 inch
Mask尺寸	MAX 5×5 inch
UV燈箱	準直儀型
照度	>8mW/cm2
照度均一性	<±8.5%
硬性接觸	有
對準點間隔測長功能	不可裝配
UV燈累計光量計	不可裝配
防震台	選配
外形尺寸(mm)	750W×600H×650D

規格

基板尺寸	MAX4 inch
Mask尺寸	MAX 5×5 inch
UV燈箱	多面鏡型
照度	>14mW/cm2
照度均一性	<±4.0%
硬性接觸	有
對準點間隔測長功能	有
UV燈累計光量計	有
防震台	配件
外形尺寸(mm)	1000W×1300H×800D (包含防震台尺寸)

線寬	1μm L&S
光刻劑	OFPR-800LB(東京應化製)
膜厚	1μm

規格

基板尺寸	MAX6 inch
Mask尺寸	MAX 7×7 inch
UV燈箱	整合型
照度	>18mW/cm2
照度均一性	<±5.0%
硬性接觸	有
對準點間隔測長功能	有
UV燈累計光量計	有
防震台	配件
外形尺寸(mm)	1130W×1650H×800D (包含防震台尺寸)

規格

顯微鏡	雙眼實體顯微鏡
基板尺寸	MAX3 inch
Mask尺寸	MAX 4×4 inch
UV燈箱	準直儀型
照度	>8mW/cm2
照度均一性	<±8.5%
硬性接觸	選配
對準點間隔測長功能	不可裝配
UV燈累計光量計	不可裝配
防震台	選配
外形尺寸(mm)	800W×730H×500D

規格

基板尺寸	MAX6 inch
Mask尺寸	MAX 7×7 inch
UV燈箱	整合型
照度	>18mW/cm2
照度均一性	<±5.0%
硬性接觸	選配
對準點間隔測長功能	不可裝配
UV燈累計光量計	不可裝配
防震台	配件
外形尺寸(mm)	1000W×1685H×800D (包含防震台尺寸)

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