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顯影刻蝕装置 - Developer・EtchingSystem - |
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規格
■ 可用程式選擇SPRAY顯影‧PADDLE顯影
■ 基板尺寸 φ1 inch~φ6 inch 或 150×150 ㎜
■ 最大可以擴張到3藥液
■ 使用液晶觸控式螢幕可輸入96個階段‧10種模式
■ 連續處理藥液、清洗、甩乾
■ 內建藥液壓送幫浦
■ 外形尺寸(mm) 550W × 440H × 400D 蓋子打開時740H
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規格
■ 可用程式選擇SPRAY顯影‧PADDLE顯影
■ 基板尺寸φ1 inch~φ12 inch 或 220×220 ㎜
■ 最大可以擴張到3藥液
■ 使用液晶觸控式螢幕可輸入48個階段‧10種模式
■ 連續處理藥液、清洗、甩乾
■ 內建藥液壓送幫浦
■ 外形尺寸(mm) 720W × 500H × 520D 蓋子打開時910H
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規格
■ 基板尺寸 φ1 inch~φ6 inch 或 150×150 ㎜
■ 最大可以擴張到3藥液
■ 考量到耐藥性,接液部使用PVC材質
■ 使用液晶觸控式螢幕可輸入96個階段‧10種模式
■ 連續處理刻蝕、清洗、甩乾
■ 內建藥液壓送幫浦
■ 外形尺寸(mm) 550W × 440H × 400D 蓋子打開時740H
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規格
■ 基板尺寸 φ1 inch~φ12 inch 或 220×220 ㎜
■ 最大可以擴張到3藥液
■ 考量到耐藥性,接液部使用PVC材質
■ 使用液晶觸控式螢幕可輸入48個階段‧10種模式
■ 連續處理刻蝕、清洗、甩乾
■ 內建藥液壓送幫浦
■ 外形尺寸(mm) 720W × 500H × 520D 蓋子打開時910H
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