| スピンコーター 1H-360S密閉型
優れた塗布膜厚均一性、最大４インチ角基板まで対応 |
特徴
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スピンコーター 1H-360S密閉型
優れた塗布膜厚均一性、最大４インチ角基板まで対応
特徴
装置寸法：540W×630D×460W(mm)
- 角基板特有のコーナーの膜厚ムラがなく、均一な膜厚分布
- 対応試料サイズ：MAXφ125mm 又は100mm角
- 研究開発に適した汎用性・操作性
- レジスト使用量の低減
- 回転数精度±１ｒｐｍの高精度
- 定位置停止が出来、角型基板の扱いが容易
- 最大100ステップの回転プログラム入力が可能
